特許
J-GLOBAL ID:200903091780815788
導波路型光素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
作田 康夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-342655
公開番号(公開出願番号):特開2002-204030
出願日: 1994年01月31日
公開日(公表日): 2002年07月19日
要約:
【要約】【課題】 本発明は半導体光素子に関し、特に極めて簡易な作製法で実現可能な低しきい値で、高出力かつ高速動作を可能とするインジウム燐系リッジ装荷型レーザの素子構造及びその作製方法を提供することを目的とする。【解決手段】 インジウム燐系リッジ装荷型光導波路の側壁形状を逆メサ形状にすることにより、電極接触幅の拡大、発光領域の狭窄化を通じて素子特性を大きく向上する、光導波路構造およびその作製方法を開示する。【効果】 本発明を用いれば、素子性能、歩留まりが飛躍的に向上するだけでなく、この素子を適用した光通信システムの大容量化、長距離化を容易に実現できる。
請求項(抜粋):
インジウム燐基板上に形成されたリッジ装荷型光導波素子においてリッジの側壁が逆メサ形状を有することを特徴とする導波路型光素子。
IPC (5件):
H01S 5/22
, G02F 1/025
, H01L 21/308
, H01S 5/026 616
, H01S 5/12
FI (5件):
H01S 5/22
, G02F 1/025
, H01L 21/308 C
, H01S 5/026 616
, H01S 5/12
Fターム (24件):
2H079AA02
, 2H079BA01
, 2H079BA03
, 2H079CA05
, 2H079DA16
, 2H079EA05
, 2H079EA07
, 2H079EA27
, 2H079JA07
, 5F043AA15
, 5F043AA20
, 5F043BB08
, 5F043GG10
, 5F073AA11
, 5F073AA13
, 5F073AA64
, 5F073BA02
, 5F073BA03
, 5F073CA12
, 5F073CB02
, 5F073DA23
, 5F073DA32
, 5F073EA23
, 5F073EA29
引用特許:
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