特許

J-GLOBAL ID：200903091782122852

リブと先細櫛歯を備えたMEMS走査ミラーの寸法諸元

発明者： イー チュン フュー
出願人/特許権者： アドヴァンスド ニュ-マイクロ システムズ インコ-ポレイテッド
代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  今城 俊夫 ,  西島 孝喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-161933
公開番号（公開出願番号）：特開2006-309098
出願日： 2005年05月02日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：

【課題】 MEMS走査ミラーの設計に関し、共振周波数での振動の安定性を改良し、デバイスの光学解像を保証する装置を提供する。【解決手段】 超小型電気機械システム(MEMS)ミラーデバイスは、ミラーと、接着パッドと、ばねと、ミラーに接続されている梁とを含んでいる。ミラーは、1000ミクロンより広く1200ミクロン未満の幅と、4000ミクロンより長く5500ミクロン未満の長さと、240ミクロンより厚い厚さを有している。各梁は、複数の回転櫛歯を含んでおり、複数のばねによって接着パッドに接続されている。【選択図】 図1A

請求項（抜粋）：

超小型電気機械システム(MEMS)ミラーデバイスであって、 1000ミクロンより広く1200ミクロン未満の幅と、4000ミクロンより長く5500ミクロン未満の長さと、240ミクロンより大きい厚さを有するミラーと、 前記ミラーに接続されており、それぞれ複数の回転櫛歯を備えている複数の梁と、 接着パッドと、 ばねと、 を備えており、前記梁は、それぞれ、複数のばねによって前記接着パッドに接続されていることを特徴とするデバイス。

IPC (3件)：

G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  B41J 2/44

FI (3件)：

G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B41J3/00 D

Fターム (8件)：

2C362BA17 ,  2C362BA58 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045AB73 ,  2H045DA02