液転写装置と液転写方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347363
公開番号（公開出願番号）：特開平7-185798
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【目的】フラックスのような液から、デバイスのような液の転写用部材を完全に剥離することができ、歩留りを向上することができる液転写装置と液転写方法を提供すること。【構成】上記転写用部材12を設定する転写用部材設定手段10と、上記液20を収容する液収容手段14と、上記転写用部材設定手段10に固定された上記転写用部材12を、上記液収容手段14の上記液20に接触させて上記転写用部材12を上記液収容手段14の上記液20から離すための操作手段70と、上記液収容手段14に気体を導いて上記転写用部材12に付与する気体付与手段90とを備える液転写装置。

請求項（抜粋）：

液を転写用部材により対象物に対して転写するための液転写装置であって、上記転写用部材を設定する転写用部材設定手段と、上記液を収容する液収容手段と、上記転写用部材設定手段に固定された上記転写用部材を、上記液収容手段の上記液に接触させて上記転写用部材を上記液収容手段の上記液から離すための操作手段と、上記液収容手段に気体を導いて上記転写用部材に付与する気体付与手段と、を備えることを特徴とする液転写装置。

IPC (7件)：

B23K 3/00 , B05C 1/02 101 , B05C 3/20 , B05D 1/28 , B05D 7/00 , H01L 21/321 , H05K 3/34 503

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