特許

J-GLOBAL ID：200903091795522817

外観検査装置及び外観検査方法

発明者： 後藤 幸博
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-298468
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121333
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で部品の実装状態を検査することができる外観検査装置及び外観検査方法を提供すること。【解決手段】リード21、バンプ22、基板30の検査対象物との距離を検出する距離センサ11と、検査対象物と距離センサ11とを相対移動させる移動機構12と、距離センサ11からの出力信号に基づいて検査対象物の検査を行う検査回路13とを備え、検査回路13では、距離センサ11からの出力信号に基づいて、検査対象物の複数の特徴部分を検出し、検査対象物の位置及び形状を特定し、予め記憶された検査対象物の位置及び形状とを比較することで、良否を判定する。

請求項（抜粋）：

検査対象物との距離を検出する距離センサと、前記検査対象物と前記距離センサとを相対移動させる移動機構と、前記距離センサからの出力信号に基づいて前記検査対象物の検査を行う検査部とを備え、前記検査部は、前記距離センサからの出力信号に基づいて、前記検査対象物の複数の特徴部分を検出する特徴部分検出部と、この特徴部分検出部において検出された前記特徴部分に基づいて前記検査対象物の位置及び形状を特定する特定部と、この特定部により特定された前記検査対象物の位置及び形状と予め記憶された前記検査対象物の位置及び形状とを比較し、良否を判定する比較判定部とを備えていることを特徴とする外観検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01B 11/24 C ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/26 Z ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 645 B ,  G06F 15/62 405 A

Fターム (43件)：

2F065AA17 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA31 ,  2F065BB13 ,  2F065BB24 ,  2F065CC27 ,  2F065CC28 ,  2F065DD06 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR09 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT03 ,  2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051ED07 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA12 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DC02 ,  5B057DC08 ,  5B057DC09 ,  5B057DC36