特許

J-GLOBAL ID：200903091800461058

光電子分光分析装置および光電子分光分析方法

発明者： 中村 久美
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-374649
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181747
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】 試料1にX線源3からX線3’を照射し、それによって試料1から放出される光電子4をエネルギー分析器11によって検出する光電子分光分析装置において、試料1の高さ合わせを、正確かつ簡便に行う。【解決手段】 光電子数演算・比較ユニット14と試料ステージ駆動モーター制御ユニット10とを有する制御装置は、試料1を、試料ステージ駆動モーター制御ユニット10からの指令によって、異なる高さの複数の測定位置に移動させ、各測定位置で光電子計測を行わせる。そして、各計測位置でのエネルギー分析器の検出信号から、その計測位置で放出された光電子量を光電子数演算・制御ユニット14によって算出・比較し、その結果に基づいて、試料1を、放出される光電子量が最大となる最適計測位置に移動させて高さ合わせを行う。

請求項（抜粋）：

励起線を試料に照射する励起線源と、前記励起線が照射されることによって前記試料から放出される光電子を検出するエネルギー分析器と、試料を保持し移動させる自動試料微動手段と、前記試料を前記自動試料微動手段によって、前記試料の分析領域と前記エネルギー分析器との距離が異なる複数の計測位置に移動させ、前記試料が前記複数の計測位置の各々に位置している状態で、前記励起線源から前記試料の分析領域に前記励起線を照射させ、それによって前記試料から放出される前記光電子を前記エネルギー分析器によって検出し、その検出信号に基づいて、放出された光電子量を計測し、複数の前記計測位置で計測した前記光電子量に基づいて、最終的に、前記光電子量が最大となる最適計測位置に前記試料を移動させる自動制御手段とを有する光電子分光分析装置。

Fターム (24件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001FA06 ,  2G001GA03 ,  2G001GA04 ,  2G001GA05 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001KA03 ,  2G001KA13 ,  2G001MA05 ,  2G001NA03 ,  2G001NA11 ,  2G001NA15 ,  2G001NA17 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  2G001PA30 ,  2G001RA01 ,  2G001RA10