特許

J-GLOBAL ID：200903091801051007

2層構造ディスクのスペーサ層形成装置及び方法

発明者： 吉村 芳紀
出願人/特許権者： 株式会社ソニー・ディスクテクノロジー
代理人 (1件)： 山本 秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-254528
公開番号（公開出願番号）：特開平9-073672
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】 生産性に優れた2層構造ディスクのスペーサ層形成装置及び方法を提供する。【解決手段】 基板101上の低反射膜102と面対向して配置されるスタンパー107と、低反射膜102とスタンパー107との間に液状のUV硬化樹脂103aを供給するためのノズル22と、基板101とスタンパー107との間を圧接させてUV硬化樹脂103aを圧し潰しながら基板101及びスタンパー107と共に回転し、UV硬化樹脂103aによるスペーサ層103を基板101とスタンパー107との間に作るための手段と、スペーサ層103を形成する手段によるスペーサ層形成動作に連動して回転中心側から外周側に向かってUVノズル24を移動させながらスペーサ層103に紫外線(UV)スポット光を照射して硬化させるためのUV照射器25とを備えてなる構成とした。

請求項（抜粋）：

基板上に第1の反射層とスペーサ層と第2の反射層を順次配してなる2層構造ディスクにおけるスペーサ層を形成する装置において、前記基板上の前記第1の反射層と面対向して配置される回転スタンパーと、前記第1の反射層と前記回転スタンパーとの間に液状のUV硬化樹脂を供給するためのUV硬化樹脂供給手段と、前記基板と前記回転スタンパーとの間を圧接させて前記UV硬化樹脂を圧し潰しながら前記基板及び前記回転スタンパーと共に回転し、前記UV硬化樹脂による前記スペーサ層を前記基板と前記回転スタンパーとの間に作るためのスペーサ層形成手段と、前記スペーサ層形成手段によるスペーサ層形成動作に連動して回転中心側から外周側に向かって移動しながら前記スペーサ層に紫外線(UV)スポット光を照射して硬化させるための紫外線供給手段、とを備えたことを特徴とする2層構造ディスクのスペーサ層形成装置。

IPC (3件)：

G11B 7/26 531 ,  B29D 17/00 ,  B29K101:10

FI (2件)：

G11B 7/26 531 ,  B29D 17/00