特許
J-GLOBAL ID：200903091801825495
回転走査方式の露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059766
公開番号（公開出願番号）：特開平6-274945
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 スタンパ・方式では製造困難な微細化された情報トラック幅をもつディスク媒体を、高スリープットに製造する。【構成】 リソグラフィ用のステッパーの投影露光技術を利用し、情報トラックのパターンを有する円形のレチクルを回転させつつ、ディスク媒体となる円形の感光基板を同一速度で回転させ、円形レチクルの径方向に伸びたスリット状、又は扇状の照明光でレチクルを照射することによって回転走査露光する際の偏心を補正する。
請求項（抜粋）：
同心円状、若しくは螺旋状に微細な線条パターンが径方向にほぼ一定のピッチで複数本形成された輪帯状パターン領域を有する円形マスクと、該輪帯状パターン領域の中心を原点として前記円形マスクを回転させる第1の回転手段と、前記輪帯状パターン領域のうちの部分領域を所定の結像面内に投影する投影光学系と、該結像面内に投影される前記輪帯状パターン領域の部分領域内の1ケ所で径方向が一致するように円形感光基板を保持するとともに、該円形感光基板上の輪帯状の被露光領域の中心を原点として該円形感光基板を回転させる第2の回転手段と、前記円形マスクと前記円形感光基板とが同一速度で回転しているとき、前記投影光学系の投影視野領域内で前記円形マスクの輪帯状パターン領域の部分領域を照明する照明手段とを備え、前記円形マスクの輪帯状パターン領域を前記円形感光基板の輪帯状被露光領域に回転走査露光する装置において、(a)前記円形マスクの輪帯状パターン領域内に形成された前記線条パターンを光学的に検知して、前記円形マスクの回転に伴う前記輪帯状パターン領域の偏心量に応じた信号を出力する偏心検出手段と;(b)該偏心量が相殺されるように、前記第1の回転手段の回転中心と前記第2の回転手段の回転中心とを、前記偏心検出手段からの信号に応答して前記結像面内で相対的に変位させる偏心補正手段とを備えたことを特徴とする回転走査方式の露光装置。
IPC (2件)：
G11B 7/26 501
, G03F 7/20 521
