特許

J-GLOBAL ID：200903091806239918

水溶性ポリイミド前駆体、ポリイミド前駆体水溶液、およびその製造方法

発明者： 野村 秀史 ,  後藤 哲哉
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-144623
公開番号（公開出願番号）：特開平8-003445
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：

【要約】【構成】ポリアミック酸に、水溶性有機アミンを該ポリアミック酸のカルボキシル基の0.5倍モル当量以上付加した水溶性ポリイミド前駆体、および、その水溶液である。【効果】本発明の水溶性ポリイミド前駆体は、有機溶媒を用いずにウェットコーティングを行なうことができ、安全上好ましい。また、耐溶剤性の不良なポリイミド膜の多層膜を形成することができる。

請求項（抜粋）：

(a)ポリアミック酸に、(b)水溶性有機アミンを該ポリアミック酸のカルボキシル基の0.5倍モル当量以上付加した水溶性ポリイミド前駆体。

IPC (6件)：

C08L 79/08 LRB ,  C08K 5/17 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/312 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31