特許
J-GLOBAL ID：200903091818881178
エキシマランプ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-168758
公開番号（公開出願番号）：特開2005-005174
出願日： 2003年06月13日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【課題】それぞれ誘電体からなる内側管と透光性の外側管によって形成された放電空間の内側に放電用ガスが封入された放電容器と、これら内側管の内周面と外側管の外周面に配設された内側電極と外側電極とを備え、この内側電極と外側電極とに電圧を印加することにより、エキシマ光を放射するエキシマランプにおいて、内側電極と内側管との密着性の向上を図り、放電容器に交流電圧を偏り少なく、効率的に印加することによって、強度分布のばらつきの少ない高効率のエキシマランプを供給する。【解決手段】上記課題は、内側管の軸方向に沿う両側部を有する連結部と、この連結部の同一箇所の両側部よりそれぞれ伸び、内側管の内周面の円周方向に沿う多数の突出部と、これら多数の突出部の相互間に形成される多数の凹部とを備えた金属板によって構成される内側電極を、内側管の内周面に配設することによって解決される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
それぞれ誘電体からなる内側管及び透光性の外側管により形成され、かつ前記内側管と前記外側管によって形成された放電空間の内側に放電用ガスが封入された放電容器と、前記内側管及び前記外側管のそれぞれの外面に配設された内側電極及び外側電極とを備え、前記内側電極及び前記外側電極に電圧を印加することにより、エキシマ光を前記外側管より放射するエキシマランプにおいて、
前記内側電極は、金属板であって、前記内側管の外面の軸方向に沿う両側部を有する連結部と、この連結部の同一箇所の両側部よりそれぞれ伸び、前記内側管の外面の円周方向に沿う多数の突出部と、前記多数の突出部の相互間に形成される多数の凹部とを備え、前記内側管の外面に密着するよう配設されることを特徴とするエキシマランプ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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