特許
J-GLOBAL ID：200903091820011989
半導体容量型多軸加速度センサおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-054597
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253658
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 コンタクト電極として拡散速度の遅いプラチナを使用し、シリコンより成る支持部にプラチナシリサイドの拡散層を形成し、プラチナシリサイド形成後に陽極接合を実施しても陽極接合時の温度によりシリコン基板中に拡散層が過度に拡散することはなく、外部への電気的接続を確実に実施することができ、温度を上げて陽極接合を実施することができて半導体容量型多軸加速度センサの製造工程時間を短縮する半導体静電容量型多軸加速度センサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 可動電極2と固定電極11の間にコンデンサを複数形成する半導体静電容量型多軸加速度センサおよびその製造方法において、拡散層13をプラチナシリサイドとした半導体静電容量型多軸加速度センサおよびその製造方法。
請求項（抜粋）：
シリコン基板の一部にエッチングを施して極薄の可動電極を形成すると共に可動電極を支持する支持部を形成し、支持部に可動電極と電気的導通をとるプラチナ薄膜をコンタクト電極として形成し、プラチナ薄膜を加熱してシリコンより成る支持部に拡散させプラチナシリサイドの拡散層を形成してコンタクト電極と支持部との間の導通をとり、残存するコンタクト電極を除去して拡散層の表面に外部との間の電気的接続を行なうボンディングパッドを形成し、ガラスより成る重錘体および台座を具備せしめ、ガラスより成る固定電極用台座を可動電極の片側面との間に空隙を形成してシリコン基板に固着させ、固定電極用台座の空隙を形成する部分に複数の固定電極を形成し、固定電極より電気信号を取り出す配線を形成し、次いで、固定電極用台座、重錘体、台座の内の少なくとも1個をシリコン基板に陽極接合し、可動電極と固定電極の間にコンデンサを複数形成する半導体静電容量型多軸加速度センサの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
