特許
J-GLOBAL ID：200903091822009957
半導体回路の欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八嶋 敬市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-279149
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109805
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 1つの親ボードとその親ボードに固定した複数のソケット形コンタクトアレイをどのようなの種類の半導体回路にでも適用できるようにして経済性を高めることを目的とする。【構成】 親ボード10に欠陥検査主回路16を備え、その親ボード10の片側に半導体回路14が着脱可能に接続される検査用のソケット形コンタクトアレイ12を複数固定し、その親ボード10のもう一方の側に着脱用コネクタアレイ18を複数固定する。欠陥検査補助回路24を備えた子ボード20を前記親ボード10とは別に用意し、その子ボード20に前記着脱用コネクタアレイ18に着脱できるコネクタピンアレイ22を固定する。親ボード10に子ボード20を取付けることによって、前記欠陥検査主回路16と欠陥検査補助回路24とが接続され、半導体回路14の欠陥検査を行える。子ボード20は半導体回路14の種類に応じてそれぞれ交換して用いる。
請求項（抜粋）：
半導体回路の欠陥を検査するための欠陥検査回路の一部を構成する欠陥検査主回路と、その欠陥検査主回路を備える親ボードと、その親ボードの一方の面に固定されるものであって前記欠陥検査主回路に接続されると共に半導体回路が着脱可能に接続される複数の検査用のソケット形コンタクトアレイと、前記親ボードの他方の面に固定されるものであって前記欠陥検査主回路に接続される前記検査用のソケット形コンタクトアレイと同数の着脱用コンタクトアレイと、前記欠陥検査主回路と接続して前記半導体回路の欠陥を検査する欠陥検査回路の一部を構成する欠陥検査補助回路と、半導体回路の種類に応じた欠陥検査補助回路を備えるその種類ごとの複数の子ボードと、その子ボードに固定されるものであって前記欠陥検査補助回路に接続されていると共に前記着脱用コンタクトアレイに着脱可能に接続されるコンタクトピンアレイとを有し、検査をすべき半導体回路を検査用のソケット形コンタクトアレイに接続すると共に、その検査すべき種類の半導体回路に対応する子ボードのコンタクトピンアレイを親ボードの着脱用コンタクトアレイに接続することによって、半導体回路と欠陥検査主回路と欠陥検査補助回路とを接続するようにしたことを特徴とする半導体回路の欠陥検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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