特許

J-GLOBAL ID：200903091824341703

磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法

発明者： 進藤 宏史 ,  阿部 徹男 ,  小川 昭雄 ,  長谷部 次博
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-162799
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067414
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 磁気ヘッドのスロートハイトのばらつきを低減する磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法を提供する。【解決課題】 本発明の磁気ヘッドの研磨装置は、研磨用定盤(2)と、研磨ヘッド取付用フレーム(12)と、このフレーム(12)に弾性支持されたアジャストリング(26)と、研磨面に対する姿勢がアジャストリングにより制御される研磨ヘッド(20)と、研磨ヘッドに取り付けられた傾動部(46)と、研磨ヘッドに取り付けられると共に治具(94)が取り付けられる昇降可能なバックプレート(68)と、バックプレートの枢着点の両側に押圧力を作用させるバランス用アクチュエータ手段(70A,70B) と、治具の少なくとも両端部及び中央部に操作力を作用させる修正用アクチュエータ手段(106A,106B,106C)を有し、この修正用アクチュエータ手段の可動部の移動方向と上記操作力の作用方向が平行である。

請求項（抜粋）：

治具により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気ヘッドの研磨装置において、回転駆動される研磨面を有する研磨用定盤と、この研磨用常盤の研磨面に対して移動可能に配置された研磨ヘッド取付手段と、上記研磨面に接触するようにこの研磨ヘッド取付手段に弾性支持されたアジャストリングと、このアジャストリングに固定され上記研磨面に対する姿勢がアジャストリングにより制御される研磨ヘッドと、この研磨ヘッドに上記研磨面に平行な傾動軸を中心として傾動可能に取り付けられた傾動部と、この傾動部を上記研磨面に対して傾斜させる傾動部駆動手段と、上記傾動部に対して昇降自在に設けられた昇降部と、この昇降部の下部に枢着されると共に上記治具が取り付けられるバックプレートと、このバックプレートの枢着点の両側にそれぞれ押圧力を作用させるバランス用アクチュエータ手段と、この治具の所定の複数の作用点に操作力を作用させる修正用アクチュエータ手段であって、この修正用アクチュエータ手段の可動部の移動方向と上記操作力の作用方向が平行である修正用アクチュエータ手段と、を有することを特徴とする磁気ヘッドの研磨装置。