特許

J-GLOBAL ID：200903091825994298

接合装置および接合方法

発明者： 児島 栄作
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (7件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-064587
公開番号（公開出願番号）：特開2009-224394
出願日： 2008年03月13日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：

【課題】生産性を向上させることが可能な接合装置、および接合方法を提供する。【解決手段】接合装置100は、ACF10を加熱するためのレーザ光をACF10に向けて照射するレーザ光照射部を備える。レーザ光照射部は、複数のレーザ光源32と、レーザ光源32から発せられるレーザ光が、ACF10に向かう向きに進行するように、レーザ光を伝達する光ファイバ33,41と、光ファイバから出たレーザ光を平行光に変換する複数のレンズ42を有する複数のフィクスチャ45とを含む。複数のレーザ光源が各々出射するレーザ光の強度は、互いに独立に、時間に対して一定または時間的に変化させるように制御される。接合対象物の表面に対して、複数のレーザ光源の各々から出射されたレーザ光を異なる位置に照射することによって、接合対象物の輪郭により定まる領域の全域がレーザ光により照射される。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

被接合物としてガラス基板上に配列された複数の第1の電極からなる引出電極と、前記引出電極の接合対象物に含まれ、かつ前記複数の第1の電極と配置を対応させて配列された複数の第2の電極とを、熱反応性樹脂による接着剤を介在させてそれぞれ電気的に接合する接合装置であって、 前記熱反応性樹脂を加熱するためのレーザ光を前記接着剤に向けて照射するレーザ光照射部を備え、 前記レーザ光照射部は、 複数のレーザ光源と、 前記複数のレーザ光源が各々出射するレーザ光の強度を、互いに独立に、時間に対して一定または時間的に変化させるように制御するレーザ制御部とを含み、 前記複数の第2の電極が形成された前記接合対象物の表面に対して、前記複数のレーザ光源の各々から出射された前記レーザ光を異なる位置に照射することによって、前記接合対象物の輪郭により定まる領域の全域を前記レーザ光により照射する、接合装置。

IPC (3件)：

H05K 3/36 ,  H05K 3/32 ,  H01L 21/60

FI (3件)：

H05K3/36 A ,  H05K3/32 B ,  H01L21/60 311T

Fターム (19件)：

5E319AA03 ,  5E319AA07 ,  5E319AC03 ,  5E319AC04 ,  5E319BB16 ,  5E319CC61 ,  5E319GG15 ,  5E344AA02 ,  5E344AA22 ,  5E344BB05 ,  5E344BB06 ,  5E344BB12 ,  5E344CD04 ,  5E344CD14 ,  5E344DD06 ,  5E344EE21 ,  5F044LL09 ,  5F044PP15 ,  5F044PP19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 接合方法および接合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-031366   出願人：オムロン株式会社