ウエハ保持用粘着シート

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-244454
公開番号（公開出願番号）：特開2008-063492
出願日： 2006年09月08日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：

【課題】再剥離型粘着シートであって、エキスパンド性がよく、また、ダイシング時のチッピングが低減できる、また、再剥離性が良好かつ経時で再剥離性が低下しない、ダイシング用のウエハ保持シートなどとして有用なウエハ保持用粘着シートを提供することにある。【解決手段】本発明のウエハ保持用粘着シートは、熱可塑性樹脂と多層構造重合体粒子とからなる基材層、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、エチレン-ビニルアルコール樹脂から選ばれた少なくとも1つの樹脂からなる厚みが0.5〜15μmの中間層、放射線硬化型の粘着層の少なくとも3層を有する粘着シートであって、50°Cで2週間放置した後の、分子量1000〜30000である2〜15官能の化合物の基材層への移行量が50%以下であることを特徴としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

熱可塑性樹脂と多層構造重合体粒子とからなる基材層、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、エチレン-ビニルアルコール樹脂から選ばれた少なくとも1つの樹脂からなる厚みが0.5〜15μmの中間層、放射線硬化型の粘着層の少なくとも3層を有する粘着シートであって、50°Cで2週間放置した後の、分子量1000〜30000である2〜15官能の化合物の基材層への移行量が50%以下であることを特徴とするウエハ保持用粘着シート。

IPC (8件)：

C09J 7/02 , C09J 133/00 , B32B 27/20 , B32B 27/30 , B32B 27/34 , B32B 27/28 , B32B 7/06 , H01L 21/301

FI (8件)：

C09J7/02 Z , C09J133/00 , B32B27/20 Z , B32B27/30 A , B32B27/34 , B32B27/28 102 , B32B7/06 , H01L21/78 M

Fターム (76件)：

4F100AK01A , 4F100AK01C , 4F100AK25A , 4F100AK25B , 4F100AK36B , 4F100AK46B , 4F100AK51B , 4F100AK53B , 4F100AK69B , 4F100AL01A , 4F100AL05A , 4F100AL05B , 4F100AL05C , 4F100AN02 , 4F100AT00A , 4F100BA03 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100CA02B , 4F100DE01A , 4F100DE04A , 4F100EH17 , 4F100EH172 , 4F100EH46 , 4F100EH462 , 4F100EJ86 , 4F100EJ862 , 4F100GB41 , 4F100JA05B , 4F100JB14C , 4F100JB16A , 4F100JD01B , 4F100JD01C , 4F100JK01 , 4F100JK02 , 4F100JK03 , 4F100JK07 , 4F100JK13 , 4F100JL02 , 4F100JL06 , 4F100JL13C , 4F100JL14 , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4J004AA10 , 4J004AA17 , 4J004AB01 , 4J004AB06 , 4J004CA03 , 4J004CC03 , 4J004CC05 , 4J004CD02 , 4J004CD05 , 4J004CD06 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J040DF031 , 4J040DF032 , 4J040FA131 , 4J040FA132 , 4J040FA141 , 4J040FA142 , 4J040FA291 , 4J040FA292 , 4J040GA05 , 4J040GA07 , 4J040GA11 , 4J040GA25 , 4J040JA09 , 4J040JB07 , 4J040JB09 , 4J040KA13 , 4J040NA20 , 4J040PA23 , 4J040PA42

引用特許：

出願人引用 (4件)

特許第2119328号明細書
特許第2126520号明細書
半導体ウエハダイシング用粘着シート
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-241140 出願人：株式会社クラレ

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審査官引用 (17件)

半導体ウエハダイシング用粘着シート
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-241140 出願人：株式会社クラレ
特開平3-205470
特開平3-205470

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