特許
J-GLOBAL ID：200903091836403070
光学式変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356492
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194120
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 光学式位置変位測定装置における戻り光による悪影響の抑止。【構成】 LD1の光は、レンズ2、3を経て、被検対象物4上に投射される。光像はレンズ5を介してPSD6に入射する。被検対象物4が変位(P→P’)すると、検出像もPSD上で移動する(Q→Q’)。PSD6は、入射位置に応じて電流出力I1 、I2 を生成する。I1 、I2 を電流電圧変換回路7でV1 、V2 に変換し、演算器9でΔ12=(V1 -V2 )/(V1 +V2 )を計算すると、検出光入射位置が判り、被検対象物4の位置が求められる。LD1から被検対象物4に至る光路中にビームスピリッタ20を設けてLD1の光の一部を光分割面20Aから側方に取り出し、LD1とは独立して配置されたモニタ光検出器23に入射させる。バンドパスフィルタ22を配置し、LD1の主たる発振波長の光を選択的に検知することで外乱光の影響を排除する。モニタ検出器23の出力にもとづいて、コントローラ11、光源素子駆動回路を介してLD1の出力光を安定化する。
請求項（抜粋）：
光源素子と該光源素子の出力光を被検対象物に入射させる光学系と、位置検出型の光検出器と、該位置検出型光検出器に前記被検対象物からの反射光を入射させる光学系と、前記光源素子とは独立して配置されたモニタ光検出器と、該モニタ光検出器の出力に基づいて前記光源素子を制御する手段と、前記光源素子から前記被検対象物に至る光路中に配置され、前記光源素子の出力光の一部を前記モニタ光検出器に入射させると共に前記光源素子に再入射する前記被検対象物からの戻り光を減ずる光分割手段とを備えた光学式変位測定装置。
IPC (2件)：
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