特許

J-GLOBAL ID：200903091838416595

電子線マイクロアナライザ

発明者： 佐藤 正雄
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252994
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110309
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】 電子線マイクロアナライザにおいて帯電の影響無しで絶縁物測定を可能とすることを目的とする。【構成】 電子線マイクロアナライザにおいて,電子線3が照射される試料2近傍に電子を捕獲する気体を吹き付けるキャピラリ-ノズル6を配置する構造とした。【効果】 電子線マイクロアナライザにおいて,特別な前処理を必要とせず,電子ビ-ムの広がり無しに絶縁物を測定できる。

請求項（抜粋）：

電子線照射部と、前記電子線照射部から電子線照射を受ける試料を載置する試料ステージと、前記電子線照射を受けた試料が発するX線を検出するX線検出部とを有する電子線マイクロアナライザにおいて、電子を捕獲する機能を有する気体を前記電子線照射と同時に電子線照射領域に吹きつけるキャピラリーノズルを前記試料近傍に配置し、前記試料が絶縁物のときに電子線照射による前記試料表面での帯電(チャージアップ)を防止することを特徴とする電子線マイクロアナライザ。