特許

J-GLOBAL ID：200903091840067042

変位検出系の調整機構

発明者： 伊東 修一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003695
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187865
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】装置の剛性を低下させることなく、プローブ顕微鏡の変位検出系の各要素の調整を容易に行なえる調整機構の提供する。【構成】走査型プローブ顕微鏡の筐体12の下面にはカンチレバー18が、側面にはレーザーモジュール20が取り付けられている。筐体12の上のフタ24には直視型ファイバースコープ28が、その軸心がカンチレバー18に直交しかつその面に焦点が合うように取り付けられている。フタ24の下面のボール受け40には、ミラー42を取り付けたミラー取付部材36がボール38を介して支持される。ミラー取付部材36は直交して延びる二本のアーム46を有している。これらのアーム46は、その中程がスプリング48により上方に引っ張られる一方で先端部が調整ネジ50により押さえられている。従って、ミラー42は所定の向きに安定に支持され、調整ネジ50を回せば向きが変えられる。

請求項（抜粋）：

プローブ顕微鏡に設けられる変位検出系の調整機構であって、変位検出系の光学要素を支持する手段と、光学要素の向きを変える手段と、光学要素の向きを確認するためのファイバースコープとを備えている変位検出系の調整機構。

IPC (4件)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 ,  G02B 23/24 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-071001
  
• 特開平3-071001
  
• 特開平4-001517
  
• 特開平2-203205