特許
J-GLOBAL ID：200903091844319879
圧電共振子及び電子機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350585
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168674
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 共振周波数の温度特性が安定で、かつ反共振特性も良好な圧電薄膜共振子を提供することにある。【解決手段】 水晶基板22を裏面側からエッチングすることによって水晶基板22の裏面に空洞24を形成し、その上面に水晶基板22の一部からなる薄膜支持部23を形成する。薄膜支持部23の上面には、PZTからなる圧電薄膜25と圧電薄膜25下面の励振用電極26aと圧電薄膜25上面の励振用電極26bとからなる圧電素子部27を形成する。
請求項（抜粋）：
絶縁材料もしくは圧電材料からなる基板の一部を裏面側からエッチングすることによって該基板の表面の一部に薄膜部分を形成し、該薄膜部分の上に1層もしくは複数層の圧電体層と電極とからなる圧電素子部を設けた圧電共振子であって、前記圧電体層のうち少なくとも1層における弾性定数の温度係数の正負符号が、前記薄膜部分における弾性定数の温度係数の正負符号と異なっていることを特徴とする圧電共振子。
Fターム (6件)：
5J108AA04
, 5J108BB04
, 5J108BB07
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108EE03
