特許

J-GLOBAL ID：200903091846695169

半導体容量式加速度センサ

発明者： 根本 道夫
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-273300
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136574
出願日： 1994年11月08日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】 簡素な構成で低加速度から高加速度までの広い範囲で高精度に加速度検出を行い得る半導体容量式加速度センサを提供すること。【構成】 センサ部本体のシリコン基板1に一対の加速度検出素子部10A,10Bを形成し、各加速度検出素子部10A,10Bにおける梁部1bの寸法及び質量を所定の割合で相違させて加速された場合の荷重部1aの変位度合いにバラツキを持たせて各加速度検出素子部10A,10Bに関する電気容量の変化を多様化させると共に、信号処理回路(図示されない)で各加速度検出素子部10A,10Bに関する電気容量をそれぞれ別個に電圧に変換し、それぞれの電圧信号をそれぞれ固有な閾値と比較して得られた複数の電圧検出信号を論理和加算した結果として加速度検出信号を出力する構成としている。

請求項（抜粋）：

中央近傍部分を所定のパターンで除去してそれぞれ梁部及び該梁部より延在する荷重部から成る複数の加速度検出素子部が該中央近傍部分に互いに隣接されて形成されたシリコン基板と、前記シリコン基板の一面と他面とにそれぞれ重ね合わされて接合されると共に、前記複数の加速度検出素子部に対向する局部を除去して該複数の加速度検出素子部を収納可能な収納溝が形成された一対の絶縁基板と、前記複数の加速度検出素子部の荷重部にそれぞれ対向し,且つ該荷重部の表面からそれぞれ離間されるように前記一対の絶縁基板におけるそれぞれの収納溝の壁部に設けられた複数の固定電極とを含むことを特徴とする半導体容量式加速度センサ。