特許
J-GLOBAL ID：200903091848129365
電気機械変換素子を使用したアクチエ-タに適した駆動回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
貞重 和生 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-254643
公開番号（公開出願番号）：特開2000-078861
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】 駆動系の共振周波数を考慮した正確な位置決めができる電気機械変換素子を使用したアクチエ-タの駆動回路を提供する。【解決手段】 CPU20は、目標位置信号とスライダ14の現在位置信号とに基づいて、スライダ14の移動距離を演算し、移動距離に応じて粗動駆動回路22又は微動駆動回路23を作動させる。微動駆動回路23の後段には可変周波数帯域阻止フイルタ回路24が挿入されており、信号処理回路21から出力されたスライダ14の位置信号によつて、ゲインを減衰させる中心周波数帯域を高く或いは低く変化させる。これにより、スライダの駆動軸上の位置により変動する駆動系の固有振動の共振点をサ-ボ系のクロスオ-バ-周波数からずらし、サ-ボ系の発振を抑え、高い位置決め精度でアクチエ-タを駆動することができる。
請求項（抜粋）：
電気機械変換素子と、該電気機械変換素子に固着結合され電気機械変換素子と共に変位する駆動部材と、該駆動部材に摩擦結合した移動部材とを備えた電気機械変換素子を使用したアクチエ-タに適した駆動回路であつて、駆動回路は、前記移動部材の位置を検出する位置検出器と、前記電気機械変換素子に変位を発生させる駆動信号を発生する駆動信号発生回路と、前記駆動信号発生回路の出力側に挿入され、前記位置検出器から出力される位置信号に基づいて中心周波数を変更する手段を備えた中心周波数可変の帯域阻止フイルタ回路と、前記位置検出器から出力される位置信号を駆動信号発生回路にフィ-ドバックして駆動信号を制御し、移動部材を所定位置に設定する駆動制御手段とを備えていることを特徴とする電気機械変換素子を使用したアクチエ-タに適した駆動回路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N 2/00 B
, H01L 41/08 K
