特許

J-GLOBAL ID：200903091850304379

デバイスの製造方法及び製造装置、デバイス及び電子機器

発明者： 渥美 誠志 ,  田邊 誠一 ,  茅野 祐治
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-079526
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282247
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】 複数のノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドを用いてデバイスを製造する際、吐出特性のばらつきによる不良デバイスの発生を低減することができるデバイスの製造方法及び装置を提供する。【解決手段】 インクジェット装置IJは、基板Pのパターン形成領域1に対してインク滴を吐出可能なインクジェットヘッド10を有しており、基板Pのパターン形成領域1以外の部分にはダミー領域2が設けられている。そして、インクジェット装置IJは、基板Pのダミー領域2に対してインクジェットヘッド20より吐出されたインク滴の大きさ及び形状を検出する撮像装置3を有している。

請求項（抜粋）：

基板のパターン形成領域に対して液滴吐出ヘッドより液体材料を吐出する工程を有するデバイスの製造方法において、前記パターン形成領域以外の所定領域に対して前記液体材料の液滴を吐出し、前記所定領域に吐出された前記液滴の大きさ及び形状を検出した後、前記パターン形成領域に対する吐出動作を行うことを特徴とするデバイスの製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  B41J 2/01 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  B41J 3/04 101 Z

Fターム (4件)：

2C056FB01 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01