特許

J-GLOBAL ID：200903091851487752

異物検査方法とその装置

発明者： 長崎 達夫 ,  下野 健
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319838
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160683
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 光透過性を有する被検査体の表面に付着した異物のみを簡単な構成でかつ確実に検出する異物検査方法及び装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光透過性を有する被検査体の上方に配置され、ビームを第1の仰角の入射角で前記被検査面に照射する照明系と、前記ビームによって発生する反射光及び散乱光を、第2の仰角の受光角で受光する受光系を備えた異物検出方法及び装置において、照明系のビームの幅を、前記の入射角と受光角と被検査体の厚みと被検査体の屈折率を基に、ある特別な式により計算されるビーム幅とする。

請求項（抜粋）：

光透過性を有する被検査体の上方に配置された照明系(2,3,5)からビームを第1の仰角の入射角で前記被検査体の上面に照射し、前記ビームによって発生する反射光及び散乱光を、第2の仰角の受光角で受光系(6,9)で受光する異物検査方法において、前記照明系のビーム幅を、前記の入射角αと受光角θと前記被検査体の厚みtと前記被検査体の上部の物質に対する被検査体の屈折率nから、以下の式により計算されるビーム幅w以下とすることを特徴とする異物検査方法。【数1】w<2・sinα・t(tan(sin<SP>-1</SP>(sin(90°-α)/n)))-tan(sin<SP>-1</SP>(sin(θ-90°)/n))

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-277643