特許

J-GLOBAL ID：200903091854403770

液体原料気化装置

発明者： 堀江 邦明 ,  中田 勉 ,  鈴木 秀直 ,  村上 武司 ,  栗山 文夫 ,  荒木 裕二 ,  阿部 祐士
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148541
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074745
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 高誘電体あるいは強誘電体の素材となる複雑な気化特性を持つような液体原料を効率良く気化するとともに、微少量を精度良く制御し、気化装置内や配管内の詰まりを防止できるようなコンパクトな気化装置を提供する。【解決手段】 微少な隙間をもって互いに対向する一対の壁11,12を有する流路2,3と、流路の一方の側に設けられた液体原料流入口4と、流路の他方の側に形成された気化原料流出口16と、壁を液体原料の気化温度以上に加熱する加熱手段15とを備え、流路2,3に液体原料を導入して気化させるようにした。

請求項（抜粋）：

微少な隙間をもって互いに対向する一対の壁を有する流路と、該流路の一方の端部に設けられた液体原料流入口と、該流路の他方の端部に形成された気化原料流出口と、上記壁を液体原料の気化温度以上に加熱する加熱手段とを備え、上記流路に液体原料を導入して気化させるようにしたことを特徴とする液体原料気化装置。

IPC (3件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/31 B ,  C23C 16/44 C ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-048001
  
• 気化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-233734   出願人：富士通株式会社