特許

J-GLOBAL ID：200903091856399410

平面研磨装置及びそれに用いるキャリヤ

発明者： 箱 守 駿 二
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-092363
公開番号（公開出願番号）：特開平11-267964
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】 研磨が終わったワークを外周チャックによりキャリヤのワーク保持穴から取り出すことができるようにする。3昇降機構を得る。【解決手段】 平面研磨装置に、複数の爪部材11でワークWを外周チャックするチャック手段10を設けると共に、キャリヤ7におけるワーク保持穴9の穴縁に、上記チャック手段10の爪部材11を挿入可能な複数の切欠17を設け、該切欠17の位置でワーク保持穴9内の研磨済ワークWを外周チャックして取り出す。

請求項（抜粋）：

中央に位置する太陽歯車と、該太陽歯車を取り囲んで位置する内歯歯車と、これらの両歯車に噛合して太陽歯車の回りを遊星運動するワーク保持用のキャリヤと、該キャリヤのワーク保持穴内に保持されたワークを両側から挟んで研磨する上下の定盤と、研磨が終わったワークを上記キャリヤのワーク保持穴から取り出すためのチャック手段とを備え、上記チャック手段が、ワークの外周をチャックするための開閉自在の複数の爪部材を備えると共に、上記キャリヤが、ワーク保持穴の穴縁に、上記チャック手段の爪部材を挿入してワーク外周に係止させるための複数の切欠を備えている、ことを特徴とする平面研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B24B 37/04 C ,  B24B 37/04 Z ,  H01L 21/304 621 A ,  H01L 21/304 622 L ,  H01L 21/68 N