特許
J-GLOBAL ID：200903091862699522
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下出 隆史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-189157
公開番号（公開出願番号）：特開平7-017603
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 複数のカセット300から基板を取り出して幅寄せを行なう際に、基板の損傷やパーティクルの発生が生じない基板処理装置10を提供する。【構成】 基板移載部40では、第1及び第2ターンテーブル80A,80Bにカセット300が載置されると、第1基板受け渡し具110Aが第1昇降駆動装置により上昇することでカセット300から基板Wを取り出し、その後スライド駆動装置によりカセット載置テーブル42をスライドさせて、第2ターンテーブル80Bを第2基板受け渡し具110Bの位置まで移動させる。さらに、第2基板受け渡し具110Bを上昇させて、他のカセット300から基板Wを取り出す。基板Wは、第1及び第2基板受け渡し具110A,110Bにより上昇位置にてほぼ等間隔の整列状態にてほぼ等間隔に支持される。そして、基板搬送ロボットに基板群が受け渡されて、他の基板処理部へ搬送される。
請求項（抜粋）：
複数の基板からなる基板群を起立整列状態で収容しかつ該基板群を受け渡すためのカセット挿通孔を有する複数のカセットから、該基板群をぞれぞれ取り出して整列させて他の処理手段へ搬送する基板処理装置において、第1及び第2カセットを保持する第1及び第2カセット保持部と、両カセット保持部を水平方向へ駆動するスライド駆動部とを有するスライド手段と、該スライド手段の下方に設置されかつ上記基板群を起立整列状態で保持する第1基板載置部分を有する第1基板受け渡し具と、この第1基板受け渡し具を下降位置から上昇位置の間で昇降させる第1昇降駆動部とを有する第1昇降手段と、上記スライド手段の下方に設置され、かつ第1基板受け渡し具の上昇位置で第1基板載置部分にて保持された基板群と共にほぼ連続した等間隔の起立整列状態で他の基板群を保持する第2基板載置部分を有する第2基板受け渡し具と、該第2基板受け渡し具を昇降させる第2昇降駆動部とを有する第2昇降手段と、第1及び第2基板受け渡し具からその上昇位置で保持した両基板群を受け取って搬送する基板搬送手段と、を具備することを特徴とする基板処理装置。
IPC (5件)：
B65G 1/00 549
, B65G 47/88
, B65G 49/07
, H01L 21/68
, B65G 47/52
