特許

J-GLOBAL ID：200903091863149402

半導体装置

発明者： 村田 直文
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009340
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208568
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 所望の位置を容易に見つけることができる半導体装置を得る。【解決手段】 半導体基板12と、半導体基板12上に同じ繰り返しで配列された複数の画素2とを備え、画素2のうち、所定規則で選択された画素2には、目印用パターン4が設けらており、他の画素2には目印用パターン4が設けられていない。

請求項（抜粋）：

半導体基板と、前記半導体基板上に同じ繰り返しで配列された複数のパターンと、を備え、前記複数のパターンのうち、所定規則で選択された前記パターンには、目印用パターンが設けらており、他の前記パターンには前記目印用パターンが設けられていない半導体装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/148 ,  H01L 27/14

FI (5件)：

H01L 21/66 A ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 27/04 T ,  H01L 27/14 B ,  H01L 27/14 Z

Fターム (18件)：

4M106AA02 ,  4M106AB09 ,  4M106AB20 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA02 ,  4M118FA06 ,  4M118FA50 ,  4M118GB00 ,  4M118GB15 ,  4M118HA30 ,  5F038CA01 ,  5F038CA18 ,  5F038DT12 ,  5F038DT15 ,  5F038DT19 ,  5F038EZ20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 介護服
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-040250   出願人：八木栄子
• 特公昭53-020793