特許
J-GLOBAL ID:200903091870035048
光導波路及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
絹谷 信雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-142316
公開番号(公開出願番号):特開2001-141950
出願日: 2000年05月10日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】【課題】 アスペクト比が2以上の狭間隙のコア間隔を有する光回路パターン上であっても特性良好なクラッド膜を形成できる光導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板10と、その基板10上に形成されたコア20と、そのコア20を覆うように形成されたクラッド30とからなる光導波路及びその製造方法において、上記コア20の断面形状が矩形状でかつ少なくとも1か所以上の角部40が丸みを帯びるように形成する。
請求項(抜粋):
基板と、該基板上に形成されたコアと、該コアを覆うように形成されたクラッドとからなる光導波路において、上記コアの断面形状が矩形状でかつ少なくとも1か所以上の角部が丸みを帯びるように形成されていることを特徴とする光導波路。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B 6/12 A
, G02B 6/12 M
Fターム (7件):
2H047KA04
, 2H047PA01
, 2H047PA04
, 2H047PA05
, 2H047PA22
, 2H047PA24
, 2H047TA31
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