特許

J-GLOBAL ID：200903091888814796

スパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット

発明者： 姜 仁鎬 ,  小田 淳一
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-000593
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181833
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】 大電力スパッタリングを行っても割れ発生がない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】 二酸化ケイ素:10〜30mol%、Cu:0.5〜10mol%を含有し、残りがカルコゲン化亜鉛からなる組成を有する焼結体からなるスパッタリングターゲット。

請求項（抜粋）：

二酸化ケイ素:10〜30mol%、Cu:0.5〜10mol%を含有し、残りがカルコゲン化亜鉛からなる組成を有する焼結体からなることを特徴とするスパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  C04B 35/00 ,  C04B 35/547 ,  G11B 7/24 534 ,  G11B 7/26

FI (5件)：

C23C 14/34 A ,  G11B 7/24 534 K ,  G11B 7/26 ,  C04B 35/00 H ,  C04B 35/00 T

Fターム (17件)：

4G030AA37 ,  4G030AA56 ,  4G030AA61 ,  4G030BA01 ,  4G030GA29 ,  4G030GA33 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5D029LA13 ,  5D029LA14 ,  5D029LA15 ,  5D121AA04 ,  5D121EE03 ,  5D121EE09 ,  5D121EE13