特許

J-GLOBAL ID：200903091889347040

半導体ウエハハンドリング用バッチ式エンドエフェクタ

発明者： ムカ、リチャード・エス
出願人/特許権者： バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-551426
公開番号（公開出願番号）：特表2002-517088
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：

【要約】第一のエンドエフェクタと第二のエンドエフェクタとを含み、各々が1個又はそれ以上のウエハホルダを有するウエハロボット。【解決手段】ロボットアーム組立体が、別々の動作を行うように、第一及び第二のエンドエフェクタを移動させる。ウエハキャリヤが、第一のエンドエフェクタの一つ又はそれ以上の動作と第二のエンドエフェクタの一つ又はそれ以上の動作でロード又はアンロードされ得る。ウエハロボットは、ウエハホルダ上のウエハを真空吸着するための真空システムを含み得る。エンドエフェクタは、各々のウエハホルダ上のウエハの有無を検出するための真空センサーをさらに含み得る。

請求項（抜粋）：

ウエハロボットであって、 サポートブロックと、 真空マニホルドと、 前記サポートブロックに取り付けられ、各々が、吸引口、及び前記吸引口と前記真空マニホルドとの間に連結される吸引路を有するウエハサポートから成る2個又はそれ以上のウエハホルダと、 前記吸引路の各々にそれぞれ連結され、各々の前記ウエハホルダ上のウエハの有無を検出するための真空センサーと、 前記真空マニホルドに連結される真空ポンプとから成るバッチ式エンドエフェクタ、及び 前記サポートブロックに連結され、前記バッチ式エンドエフェクタを移動させるためのアーム、から成るウエハロボット。

Fターム (12件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA03 ,  5F031GA08 ,  5F031GA44 ,  5F031GA50 ,  5F031JA22 ,  5F031JA47 ,  5F031NA05 ,  5F031PA18