片面研磨装置及びワークピース配置方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塚原孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-282591
公開番号（公開出願番号）：特開2000-108023
出願日： 1998年10月05日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】一対のキャリアでワークピースの研磨量産性を向上させると共に、装置の小型化を図った片面研磨装置及びワークピース配置方法を提供する。【解決手段】片面ポリッシング装置は、キャリア20-1,20-2で保持したウエハWを下定盤1でポリッシングする可動加工機2と、ウエハWを収納する4つの受け皿31〜34を有したバッファ3とを具備している。4つの受け皿31〜34は、バッファ3上で正四角形状に配置されており、対角線上で向かい合う一対の受け皿31,33及び一対の受け皿32,34の距離Nがキャリア20-1,20-2の中心間距離Lと略等しく設定されている。また、位置決め機構30を有し、一対の受け皿31,33又は一対の受け皿32,34の並び方向がキャリア20-1,20-2の並び方向と平行になるように、この位置決め機構30がバッファ3を90 ゚単位で回転させるようになっている。

請求項（抜粋）：

所定距離をおいて並設され、保持した一対のワークピースを回転する定盤で研磨する一対のキャリアと、対角線上で向かい合う一対のワークピース載置部の距離が上記一対のキャリアの上記所定距離と略等しくなるように、正四角形状に配された4つのワークピース載置部を有したバッファと、上記正四角形の対角線上で向かい合う一対のワークピース載置部の並び方向が、上記一対のキャリアの並び方向と平行になるように、上記一対のキャリア又は上記バッファのいずれか一方を回転させる位置決め機構とを具備することを特徴とする片面研磨装置。

Fターム (10件)：

3C058AA07 , 3C058AB03 , 3C058AB04 , 3C058AB08 , 3C058AC01 , 3C058CB03 , 3C058CB05 , 3C058CB09 , 3C058DA06 , 3C058DA17

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