特許
J-GLOBAL ID：200903091893173286
シリコンウエハの搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
斎藤 栄一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070374
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256343
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 シリコンウエハが、これを支持する硝子棒からのヒートショックを受けないようにする。【解決手段】 シリコンウエハWを硝子棒8a,8b,10a,10bの上部に支持して搬送するシリコンウエハWの搬送装置において、硝子棒8a,8b,10a,10b上にシリコンウエハWの外周を支持するコマ9a,9b,11a,11bを設ける。
請求項（抜粋）：
シリコンウエハを硝子棒の上部に支持して搬送するシリコンウエハの搬送装置において、前記硝子棒上に前記シリコンウエハの外周を支持するコマが設けられていることを特徴とするシリコンウエハの搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/324 S
