デバイスの測定装置及び測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-032281
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243875
出願日： 1994年03月02日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】テスタの有するべき機能を増大させることなく、デバイスの測定が複雑化しても対応できる測定系を構築する。【構成】パフォーマンスボード2は演算器13、メモリ14、第1及び第2の信号変換器11,12、スイッチ5,6を備えている。スイッチ5,6の共通端子は、それぞれ信号伝送線路4,3によってデバイス1の出力端及び入力端に接続されている。またスイッチ5,6の第1端子は、それぞれ信号伝送線路7,8によってテスタ17の測定ユニット群20と接続されている。更にスイッチ5,6の第2端子は、それぞれ信号伝送線路9,10によって第1の信号変換器の入力端及び第2の信号変換器の出力端と接続されている。【効果】スイッチ5,6を切り替えることにより、テスタ17の行う測定と、演算器13の行う測定とを別々に行うことができる。

請求項（抜粋）：

(a)測定されるべきデバイスに対して第1の測定を行う第1の測定部と、(b)前記第1の測定部と前記デバイスとの間に介在し、(b-1)第1の期間において前記第1の測定部と前記デバイスとを接続して前記第1の測定を許し、(b-2)前記第1の期間とは異なる第2の期間において、前記第1の測定とは異なる第2の測定を、前記デバイスに対して行う、第2の測定部とを備える、デバイスの測定装置。

IPC (4件)：

G01D 21/00 , G01R 31/26 , G01R 31/28 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平3-231171
特開平1-126571
テスト回路形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-101975 出願人：ヤマハ株式会社

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