特許

J-GLOBAL ID：200903091899351178

音速ノズルを用いた質量流量制御方法および装置

発明者： 高本 正樹 ,  中尾 晨一 ,  石橋 雅裕 ,  伊奈 義高 ,  横井 由一 ,  早川 正男
出願人/特許権者： 株式会社平井 ,  工業技術院長
代理人 (2件)： 横沢 志郎 (外1名) ,  工業技術院計量研究所長 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142766
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335117
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 音速ノズルを利用して、特に微少質量流量の制御を再現性よく極めて高い精度で行うことのできる質量流量制御方法および装置。【構成】 質量流量制御装置1の制御回路20は、音速ノズル13の低レイノルズ数領域でのレイノルズ数と実際の流出係数の関係(Cd=f(ReTH))を保持している。この領域では、音速ノズルを質量流量制御のための可変質量流量素子として利用できる。音速ノズル13の上流側流体の圧力Puおよび温度Tuを検出すれば理論質量流量QmTHおよび理論レイノルズ数ReTHを算出でき、算出したレイノルズ数に基づき、上記の関係式Cd=f(ReTH)から実際の流出係数Cdを算出できるので、Qm=Cd・QmTHの関係から実際の質量流量Qmを算出できる。

請求項（抜粋）：

流体供給源と流体が供給される側の間を連通する流体通路に、音速ノズルを直列に接続し、この音速ノズルの下流側流体圧力(Pd)および上流側流体圧力(Pu)の比を臨界圧力比よりも小さくなるように保持し、当該音速ノズルのスロート直径に基づくレイノルズ数(ReTH)に対応する実際の流出係数(Cd)を較正試験により求め、この関係に基づき、前記音速ノズルの上流側流体圧力(Pu)および流体温度(Tu)のうちの少なくとも一方を変化させて、当該音速ノズルを通過する流体の質量流量を目標とする流量(Qm)となるように制御することを特徴とする質量流量制御方法。