特許
J-GLOBAL ID：200903091902880659
基板搬送装置及び基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-347360
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165864
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 迅速な基板の受け渡しを可能にすること。【解決手段】 搬送ユニット41は、一対のアーム部材45、46からなる。各アーム部材45、46は、ガイド43に設けたリニアモータによって水平方向にそれぞれ独立して移動可能になっている。予め、アーム部材45、46をウェハWの直径よりもわずかに近接した受渡位置から互いに離間した待機位置まで移動させる。次に、ウェハWの吸着を解除するとともに支持ピンの上昇を開始する。これにより、露光済みウェハWが持ち上げられる。次に、支持ピンがアーム部材45、46よりも高い位置まで十分に上昇した段階で、アーム部材45、46を待機位置から互いにウェハWの直径よりもわずかに近接した受渡位置まで移動させる。次に、支持ピンを降下させ、支持ピンからアーム部材45、46すなわち搬送ユニット41側にウェハWを渡すことができる。
請求項（抜粋）：
基板を搬送する搬送装置において、前記基板の周辺部のうち少なくとも2箇所の周辺部を支持して、前記基板をステージに搬送する搬送アームを有することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/07 C
, H01L 21/68 A
