特許
J-GLOBAL ID:200903091910238230

ハンドリングシステム

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-274720
公開番号(公開出願番号):特開平9-089984
出願日: 1995年09月28日
公開日(公表日): 1997年04月04日
要約:
【要約】【課題】 ローダ・アンローダユニットの停止時間を短くして効率の良い稼働ができ、また少ない設備投資でハンドリングシステムを構築できるとともに、テストタイムが短いICを測定する場合においてもハンドリングシステムの組み替えにより容易に対応が可能であるハンドリングシステムを提供する【解決手段】 ロ-ダ・アンロ-ダユニット1とテストユニット2のフレ-ムは分離されており、テストユニット2上にロ-ダ・アンロ-ダユニット1とテストユニット2間のキャリア3を搬送するキャリア搬送ユニット4が設けられている。これにより、テストユニット2をロ-ダ・アンロ-ダユニット1に対し複数台並べた場合でもキャリア3の分配が可能となる。
請求項(抜粋):
キャリア(3) によりICを一括して搬送し、ICテスタによりICを測定、分類、並びに収納するオートハンドラを備えたハンドリングシステムにおいて、未測定のICをその収納容器からキャリア(3) へ移載するともに測定済のICをキャリア(3) から収容容器に分類して収納するローダ・アンローダユニット(1) と、ICの電気的信号をICテスタに伝送するためのICソケットにICを接触させるテストユニット(2) とを分離し、前記テストユニット(2) には、前記ローダ・アンローダユニット(1) と前記テストユニット(2) との間においてキャリア(3) を搬送するキャリア搬送ユニット(4) を設け、ICテスタによるICのテストタイムに応じて、前記ローダ・アンローダユニット(1) に接続する前記テストユニット(2) の台数を増減するようにすることを特徴とするハンドリングシステム。
IPC (3件):
G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68
FI (3件):
G01R 31/26 Z ,  H01L 21/66 G ,  H01L 21/68 A

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