特許
J-GLOBAL ID：200903091917075442
X線透過膜
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-253155
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102400
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 膜本体に補強部材を設けたX線透過膜であって、かつこの補強部材と膜本体の密着性が低下することがないX線透過膜を提供することを目的とするものである。【構成】 X線を透過する材料からなる膜本体11と、この膜本体11の両側面に設けられこの膜本体11を補強する第1、第2の補強部材12、13とを具備し、この第1、第2の補強部材12、13の表面に絶縁膜14、15を設けると共に、第1の補強部材12に+電圧を印加し、上記第2の補強部材13に-電圧を印加してこの第1、第2の補強部材12、13間に静電力を発生させることで、この第1、第2の補強部材12、13を上記膜本体11に密着させるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
X線を透過する材料からなる膜本体と、この膜本体の両側面に設けられこの膜本体を補強する第1、第2の補強部材とを具備し、この第1の補強部材に+電圧を印加し、上記第2の補強部材に-電圧を印加してこの第1、第2の補強部材間に静電力を発生させることで、この第1、第2の補強部材を上記膜本体に密着させることを特徴とするX線透過膜。
IPC (3件)：
G21K 5/00
, G01T 7/00
, H01L 21/027
