薄片試料の作製方法及びそのための装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307885
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159298
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】薄片試料の作製が容易であり、薄片試料の形状精度が良好で、人手を要せず、信頼性の高い薄片試料の作製方法及びそのための装置を提供する。【構成】固形試料2をカットして薄片試料2aを作製するにあたり、テーブル1から固形試料2の先端を突出させ、この固形試料2の先端上方に透明粘着テープ3をセットし、テープ押さえプランジャ4により固形試料2の先端を透明粘着テープ3に押圧する。この透明粘着テープ3に固着された状態で固形試料2の先端部を切刃5によりカットし、透明粘着テープ3に固着した薄片試料2aを作製する。

請求項（抜粋）：

固形試料をカットして薄片試料を作製する方法において、(a)テーブルから固形試料の先端を突出させる工程と、(b)該固形試料の先端上方に粘着テープをセットする工程と、(c)プランジャにより前記固形試料の先端を前記粘着テープに押圧する工程と、(d)前記粘着テープに固着された状態で前記固形試料の先端部を切刃によりカットし、前記粘着テープに固着した薄片試料を作製する工程とを施すことを特徴とする薄片試料の作製方法。

IPC (3件)：

G01N 1/28 , G02B 21/34 , G01N 1/06

FI (2件)：

G01N 1/28 U , G01N 1/28 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭58-158534
特開平4-177143
特開昭58-158534

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