特許
J-GLOBAL ID：200903091923519824
固体撮像素子及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-033670
公開番号（公開出願番号）：特開2002-237582
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：
【要約】【課題】 内部レンズの形状を適正に制御し、ゲート電極と遮光膜との間の容量の制御を行なう。【解決手段】 フォトセンサや転送レジスタを設けたシリコン基板10上に、絶縁膜10Aを介して転送レジスタを駆動するためのゲート電極20と、レンズ形状制御用絶縁膜30と、転送レジスタを遮光するための遮光膜40とを設け、さらにその上層に内部レンズ50を構成する絶縁膜50Aと高屈折率膜50Bを設けている。そして、レンズ形状制御用絶縁膜30の膜厚を適宜変更することにより、内部レンズ50におけるレンズ形状を変更することができ、受光部への光の入射特性を選択できる。また、レンズ形状制御用絶縁膜30は、ゲート電極20と遮光膜40との間の静電容量を制御でき、転送レジスタの動作特性を改善することが可能である。
請求項（抜粋）：
半導体基板に受光画素部を構成する複数のフォトセンサと、各フォトセンサに蓄積した信号電荷を転送する転送レジスタとを設け、前記半導体基板上に前記転送レジスタを駆動するゲート電極と、前記ゲート電極への光の入射を規制する遮光膜とを設け、その上層に前記フォトセンサへの光の入射を制御する内部レンズを設けた固体撮像素子において、前記ゲート電極の上部に前記内部レンズのレンズ形状を制御するための任意の膜厚を有するレンズ形状制御用絶縁膜を設けた、ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H04N 5/335 U
, H04N 5/335 F
, H01L 27/14 D
4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118GD04
, 4M118GD06
, 5C024CX00
, 5C024CY47
, 5C024EX43
, 5C024GY01
