特許

J-GLOBAL ID：200903091929381344

薄膜キャパシタ

発明者： ネリッセン アントニウス イェー エム ,  ファン デル ベーク ヘリット ペー ,  デ ウィルト ウィレム エル
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-552673
公開番号（公開出願番号）：特表2002-505812
出願日： 1999年04月08日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】誘電体層によって互いに分離された少なくとも2つの内側電極が設けられた電気絶縁基板を有する薄膜キャパシタを提供する。このキャパシタは2つの端部接点をも有し、これら端部接点の各々は内側電極の1つと導電性接触している。本発明によれば、この導電性接触を、内側電極の主表面とのみ連通する貫通接続部を介して達成させる。この手段によれば、端部接点と内側電極との間の接触抵抗が比較的低くなるとともにその再現性が良くなる。従って、薄膜キャパシタのESRの値も低くなり、キャパシタは高周波分野に用いるのに極めて適したものとなる。

請求項（抜粋）：

誘電体層により互いに分離された少なくとも2つの内側電極と、2つの端部 接点であって、これらの各々が前記内側電極の1つと導電性接触しているこれ ら端部接点とが設けられた電気絶縁基板を具える薄膜キャパシタにおいて、 前記導電性接触が、前記内側電極の主表面のみと連通する貫通接続部を介し て行なわれていることを特徴とする薄膜キャパシタ。