特許

J-GLOBAL ID：200903091930225534

活性エネルギー線硬化性組成物および硬化膜

発明者： 藤本 寿一 ,  福島 洋
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016756
公開番号（公開出願番号）：特開2002-220422
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】 レジストとして膜強度及びアルカリ溶解性のいずれにも優れた硬化膜、およびそれを可能とする活性エネルギー線硬化性組成物。【解決手段】 (A)分子中に少なくとも1個のカルボキシル基及び少なくとも1個の(メタ)アクリロイル基を持つ化合物、(B)CH2=CHCONH-R-OH(式中、Rは炭素数2〜6のアルキル基を表す。)で表される化合物、(C)上記(A)及び(B)成分以外のエチレン性不飽和化合物、(D)光重合開始剤を含有する活性エネルギー線硬化性組成物。この組成物を硬化すると、強伸度特性に優れ、耐エッチング性及びアルカリ溶解性に優れた膜が得られる。

請求項（抜粋）：

(A)分子中に少なくとも1個のカルボキシル基及び少なくとも1個の(メタ)アクリロイル基を持つ化合物、(B)下記一般式(I)で表される化合物、CH2=CHCONH-R-OH ...(I)(式中、Rは炭素数2〜6のアルキル基を表す。)(C)上記(A)及び(B)成分以外のエチレン性不飽和化合物、および(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする活性エネルギー線硬化性組成物。

IPC (8件)：

C08F220/26 ,  C08F 2/50 ,  C08F220/58 ,  C08F290/04 ,  C09D 4/00 ,  C09D 4/02 ,  C09D 5/00 ,  H01J 9/14

FI (8件)：

C08F220/26 ,  C08F 2/50 ,  C08F220/58 ,  C08F290/04 ,  C09D 4/00 ,  C09D 4/02 ,  C09D 5/00 Z ,  H01J 9/14 G

Fターム (102件)：

4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011QA12 ,  4J011QA15 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QB14 ,  4J011QB20 ,  4J011QB22 ,  4J011QB24 ,  4J011SA06 ,  4J011SA21 ,  4J011SA24 ,  4J011SA25 ,  4J011SA36 ,  4J011SA51 ,  4J011SA54 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011UA00 ,  4J011UA01 ,  4J011UA04 ,  4J011WA02 ,  4J027AB23 ,  4J027AB25 ,  4J027AB26 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AE02 ,  4J027AE03 ,  4J027AG01 ,  4J027BA07 ,  4J027BA13 ,  4J027BA14 ,  4J027BA24 ,  4J027BA25 ,  4J027BA26 ,  4J027CB10 ,  4J027CC03 ,  4J027CD08 ,  4J038FA011 ,  4J038FA012 ,  4J038FA081 ,  4J038FA082 ,  4J038FA091 ,  4J038FA092 ,  4J038FA141 ,  4J038FA142 ,  4J038FA151 ,  4J038FA152 ,  4J038FA231 ,  4J038FA232 ,  4J038FA251 ,  4J038FA252 ,  4J038FA261 ,  4J038FA262 ,  4J038FA281 ,  4J038FA282 ,  4J038GA03 ,  4J038GA06 ,  4J038KA03 ,  4J038NA04 ,  4J038NA11 ,  4J038PA17 ,  4J038PB08 ,  4J038PB09 ,  4J100AE04R ,  4J100AG63R ,  4J100AJ02R ,  4J100AL03R ,  4J100AL04R ,  4J100AL05R ,  4J100AL08P ,  4J100AL09R ,  4J100AL62R ,  4J100AL63R ,  4J100AM15R ,  4J100AM17R ,  4J100AM21Q ,  4J100AM21R ,  4J100AN04R ,  4J100AQ06R ,  4J100AQ08R ,  4J100AS15P ,  4J100BA02R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA05R ,  4J100BA08P ,  4J100BA10P ,  4J100BA13R ,  4J100BA15P ,  4J100BA16P ,  4J100BA21R ,  4J100BA39R ,  4J100BC04P ,  4J100BC43P ,  4J100CA05 ,  4J100JA01 ,  5C027HH11