特許
J-GLOBAL ID：200903091930644952
流体吹付による洗浄方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000003129
公開番号（公開出願番号）：WO2001-000336
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年01月04日
要約：
【要約】略水平に保持された被洗浄物の下側面に、洗浄流体を下から上向きに吹付けることにより、被洗浄物の下側面を洗浄する。この際、洗浄流体を、加速流体により加速し、且つ、被洗浄面への吹付方向を変えた後、被洗浄面に吹付ける。
請求項（抜粋）：
洗浄流体を被洗浄物の被洗浄面に吹き付けることにより洗浄する方法において、 略水平に保持された被洗浄物の下側面に、前記洗浄流体を下から上向きに吹き付けることにより、被洗浄物の下側面を洗浄することを特徴とする流体吹付による洗浄方法。
IPC (4件)：
B08B 5/02
, B08B 3/02
, B08B 7/00
, H01L 21/304 643
B08B 5/02
, B08B 3/02 C
, B08B 7/00
, H01L 21/304 643 Z
