特許

J-GLOBAL ID：200903091930757749

質量流センサーの校正のための装置及び方法

発明者： ルードルフ ビーアル ,  マンフレート シュヴァイマイアー
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (2件)： 久野 琢也 ,  山崎 利臣
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-536825
公開番号（公開出願番号）：特表2005-538386
出願日： 2003年08月08日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

本発明は、質量流センサーの校正のための装置及び方法に関する。質量流センサーの校正にとって良好に再現可能な流れ状態を達成するために、絞り装置が超臨界状態で作動され、その結果、最も狭い横断面で少なくとも音速が生ぜしめられる。これによって、吸引側の圧力変動の影響が著しく避けられる。

請求項（抜粋）：

質量流センサー(14)の校正のための装置であって、流れ通路及び該流れ通路内での質量流センサーの保持のためのホルダーを備えており、流れ通路が一方の端部でポンプ(32)に接続されている形式のものにおいて、ホルダーとポンプとの間に調節可能な絞り装置(24,26)を設けてあり、該絞り装置が校正過程中に制御装置を介して所定の時間・距離特性線に沿って調節可能であり、ポンプの運転時に超臨界の流れを形成するようになっており、該流れの媒体が絞り装置の最も狭い横断面で音速を有していることを特徴とする、質量流センサーの校正のための装置。

IPC (2件)：

G01F25/00 ,  G01F1/42

FI (3件)：

G01F25/00 E ,  G01F1/42 C ,  G01F1/42 D

Fターム (4件)：

2F030CC11 ,  2F030CD20 ,  2F030CF07 ,  2F030CF08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 流量計校正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-267881   出願人：株式会社平井
• 特公昭50-027614