特許
J-GLOBAL ID:200903091933312403

搬送ロボット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 羽鳥 亘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-031056
公開番号(公開出願番号):特開平6-244265
出願日: 1993年02月22日
公開日(公表日): 1994年09月02日
要約:
【要約】【目的】 クラス10以下のスーパークリーンルームに対応可能な搬送ロボットのクリーンスライダーを提供する。【構成】 搬送ロボットのクリーンスライダー20は、一方が開放された箱形フレーム基台22と、該フレーム基台内部に配設された駆動モータ(図示略)によるボールネジ25と、ボールネジ25のネジ軸26と平行に敷設された二本の支持レール27、28と、前記支持レールに支持されるとともにネジ軸26によって進退動するボールネジのナット29に載置された下部搬送台30と、前記ネジ軸26と平行な両側辺部31で下部搬送台30と接合され、下部搬送台30との間に空隙32を設けた上部搬送台33と、該上部搬送台33の頂部34のみが突出するようにフレーム基台22の開放面とこれに隣接する側面を覆設するカバー37、38、39と、を有し、更に前記空隙32を嵌通する仕切板40、41が搬送台の進退動の全領域に渡ってボールネジ方向に架設した構成である。
請求項(抜粋):
一方が開放された箱形フレーム基台と、該フレーム基台内部に配設された駆動モータによるボールネジと、前記ボールネジのネジ軸と平行に敷設された二本の支持レールと、前記支持レールに支持されるとともにネジ軸によって進退動するボールネジのナットに載置された搬送台と、前記搬送台の頂部のみが突出するように前記箱形フレーム基台の開放面とこれに隣接する側面を覆設するカバーと、を有する搬送ロボットにおいて、前記搬送台を前記支持レールに支持されるとともに前記ナットに載置された下部搬送台と、前記ネジ軸と平行な両側辺部で前記下部搬送台と接合されるとともに下部搬送台との間に空隙を設けた上部搬送台と、により構成し、且つ前記空隙を嵌通する仕切板を上部搬送台及び下部搬送台の進退動の全領域に渡ってボールネジ方向に架設したことを特徴とする搬送ロボット。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  B65G 49/00

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