特許

J-GLOBAL ID：200903091935943435

光励起振動子形センサ

発明者： 浮田 宏生 ,  田中 秀尚 ,  上西 祐司
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-160666
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010815
出願日： 1991年07月01日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 小型で安価、かつ使い易い光励起振動子形センサを提供する。【構成】 振動子1と、振動子1にその連続発振状態で光ビームを照射する検出用レーザ2と、振動子1からの反射光8が内部光9と干渉して生ずる光出力10から振動子1の固有振動数を検知する光検出器3が同一基板上に一体化されている。

請求項（抜粋）：

振動子と、該振動子に光ビームを照射し、その反射光と内部光の干渉にもとづく光出力から前記振動子の固有振動数を検知する光検出器付半導体レーザとが同一基板上に一体化されてなる光励起振動子形センサ。