特許

J-GLOBAL ID：200903091942319925

投影露光装置

発明者： 戸口 学
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-098029
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283416
出願日： 1996年04月19日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 複数のレチクルを用いて同一の感光基板を露光する場合のレチクルのセッティングの時間を短縮して生産性を向上させる。【解決手段】 照明光学系からの光束で所定の被投影位置に置かれたレチクルを照明し、該レチクルの像を投影光学系を介して感光基板上に投影して基板を露光する投影露光装置において、1つの感光基板の露光に用いられる複数のレチクルを収容している可搬なレチクルマガジンと、該レチクルマガジンを収納するレチクルライブラリと、前記被投影位置近傍に設けられ前記レチクルマガジンを待機させる中継所と、前記レチクルマガジンを前記レチクルライブラリから前記中継所上へと搬送するマガジン搬送手段と、を設ける。

請求項（抜粋）：

照明光学系からの光束で所定の被投影位置に置かれたレチクルを照明し、該レチクルの像を投影光学系を介して感光基板上に投影して基板を露光する投影露光装置において、1つの感光基板の露光に用いられる複数のレチクルを収容している可搬なレチクルマガジンと、該レチクルマガジンを収納するレチクルライブラリと、前記被投影位置近傍に設けられ前記レチクルマガジンを待機させる中継所と、前記レチクルマガジンを前記レチクルライブラリから前記中継所上へと搬送するマガジン搬送手段と、を有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/30 514 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 515 F