特許
J-GLOBAL ID：200903091945954176
ラザフオード後方散乱分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-164213
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010896
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】二系統の散乱イオンエネルギ検出器を備えるラザフォード後方散乱分析装置において、両検出器を、散乱イオンエネルギの測定条件が等価な位置へ設定することを可能とするラザフォード後方散乱分析装置を提供する。【構成】検出器位置決定用標準試料10からの散乱イオンエネルギを、二系統の検出器6,7で検出し、それぞれより得られるエネルギスペクトルの高エネルギ端の値が一致するような位置に、両検出器を配置する。【効果】両検出器より得られる散乱イオンエネルギスペクトルを足しあわせて計数効率を上げることにより、微量元素の検出が容易になる。
請求項（抜粋）：
イオン加速器,試料保持装置,二系統の散乱イオンエネルギスペクトル測定装置、エネルギスペクトル表示装置より構成されるラザフォード後方散乱分析装置において、前記ラザフォード後方散乱分析装置が、前記散乱イオンエネルギスペクトル測定装置の位置決定用の標準試料をもち、各々の散乱イオンエネルギスペクトル測定装置により測定される、前記標準試料からの散乱イオンエネルギスペクトルが出現するエネルギ値を一致させることによって、散乱イオンエネルギの測定条件が互いに等価な位置へ、前記散乱イオンエネルギスペクトル測定装置を設定することを特徴とするラザフォード後方散乱分析装置。
IPC (2件)：
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