特許
J-GLOBAL ID：200903091949488595
誘電性薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-127471
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338434
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 耐熱性が高く、平衡吸水率が小さいため、誘電正接などの電気的性質、寸法安定性、耐久性などに優れている。【構成】 特定の構造を有し、かつ、アルカリ金属含量が 50ppm以下であるポリアリールエーテルスルホンフィルムからなる誘電性薄膜。
請求項（抜粋）：
ポリアリールエーテルスルホンからなる誘電性薄膜であって、該ポリアリールエーテルスルホンが下記の式(I) 及び/又は式(II)の反復単位からなる構造を有し、【化1】かつ、該ポリアリールエーテルスルホン中のアルカリ金属含量が 50ppm以下であることを特徴とする誘電性薄膜。
IPC (3件)：
H01G 4/18 327
, C08G 75/23 NTV
, H01B 3/42
