特許

J-GLOBAL ID：200903091950027410

ICP分析用チャンバ及びそれを用いる有機溶媒試料の分析方法

発明者： 川田 哲 ,  大橋 和夫
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー分析センター ,  セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 小松 秀岳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263175
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088755
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】 有機溶媒を導入してもプラズマが安定であり、発光強度あるいは質量分析におけるイオン強度等、分析値の変動が少ないICP分析装置及び分析方法を提供する。【解決手段】 チャンバ内部にコイル状の冷却管を挿入し、これに冷却ガスとして液体窒素で冷却した窒素ガス、或は液体窒素を蒸発させて得られる窒素ガスを流す。これにより、長時間に渡って安定な分析値が得られる。

請求項（抜粋）：

チャンバ容器2内にコイル状の冷却管1を設けたことを特徴とするICP分析用チャンバ。

IPC (2件)：

G01N 21/73 ,  G01N 21/01

FI (2件)：

G01N 21/73 ,  G01N 21/01 C

Fターム (24件)：

2G043AA01 ,  2G043BA14 ,  2G043CA03 ,  2G043DA01 ,  2G043DA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA08 ,  2G043GA07 ,  2G043GA19 ,  2G043GB05 ,  2G043GB07 ,  2G043GB09 ,  2G043MA03 ,  2G043MA11 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059CC12 ,  2G059DD01 ,  2G059DD12 ,  2G059DD18 ,  2G059EE06 ,  2G059NN02 ,  2G059NN05 ,  2G059PP03