特許
J-GLOBAL ID：200903091960152337
バルブ構造
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270116
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117559
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 設置スペースの削減および保守管理作業の簡略化、さらには動作の信頼性の向上を実現することが可能なバルブ構造を提供する。【構成】 ブロック10の内部に共通流路11と、当該共通流路11の回りに配置接続された複数の二次側流路12,13,14,15を一体に穿設するとともに、個々の二次側流路12,13,14,15の開閉を制御する複数の弁機構A,B,C,Dをブロック10の側面に略放射状に一体に集積した。
請求項（抜粋）：
共通の第1の二次側流路の回りに複数の第2の二次側流路を一体に接続形成したブロックと、複数の前記第2の二次側流路と、対応する複数の一次側流路との間に介在し、当該一次側流路から前記第2の二次側流路への所望の流体の供給・遮断を制御する複数の弁機構とを一体に集積したことを特徴とするバルブ構造。
IPC (2件)：
F16K 27/00
, H01L 21/304 341
