特許

J-GLOBAL ID：200903091967142183

CMPパッド調整装置およびその方法

発明者： アルバート、エイチ.リュ ,  ランドン、バインズ
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-609225
公開番号（公開出願番号）：特表2002-540965
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：

【要約】一実施例によると、本発明はCMPパッド調整装置から構成される。入口(130)は複数の処理要素を受け入れるために構成されている。分配面(140)は入口(130)に結合され、複数の処理要素を分散するために構成されている。複数の出口(110)が分配面に結合され、処理要素をCMPパッド上に施与するよう構成されている。本実施例を使用する利点には、パッド清浄機能の向上、スラリー施与機能の改善、ウェハー品質の向上、生産の迅速化が挙げられる。

請求項（抜粋）：

複数の処理要素を受け入れる少なくとも1つの入口と、 前記入口に結合され、前記複数の処理要素を分散するよう構成された分配面と、 前記分配面に結合され前記複数の処理要素をCMPパッドに施与するよう構成されている複数の出口と、 を備えたことを特徴とするCMPパッド調整装置。

IPC (5件)：

B24B 37/00 ,  B24B 53/007 ,  B24B 53/013 ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622

FI (5件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 53/007 ,  B24B 53/013 ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (11件)：

3C047AA34 ,  3C058AA06 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058AA19 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058CB06 ,  3C058DA17